مناسبة لمستشعر ضغط الزيت Hitachi KM11 EX200-2-3-5

أربع تقنيات ضغط مستشعر الضغط

1. السعة

عادة ما يتم تفضيل أجهزة استشعار الضغط بالسعة من قبل عدد كبير من التطبيقات المهنية OEM. يتيح اكتشاف التغيرات في السعة بين سطحين هذه المستشعرات من الشعور بالضغط المنخفض للغاية والفراغ. في تكوين المستشعر النموذجي الخاص بنا ، يتكون السكن المضغوط من أسطح معدنية متباعدة بشكل وثيق ، متوازي ومعزول كهربائيًا ، أحدهما في الأساس عبارة عن حجاب الحاجز يمكن أن ينحني قليلاً تحت الضغط. يتم تركيب هذه الأسطح الثابتة بحزم (أو الألواح) بحيث يغير الانحناء للتجميع الفجوة بينها (في الواقع تشكيل مكثف متغير). يتم الكشف عن التغيير الناتج عن طريق دائرة المقارنة الخطية الحساسة مع (أو ASIC) ، والتي تضخّم وإخراج إشارة نسبية عالية المستوى.

2. CVD نوع

ترسب البخار الكيميائي (أو "CVD") طريقة التصنيع طبقة polysilicon إلى الحجاب الحاجز الفولاذ المقاوم للصدأ على المستوى الجزيئي ، وبالتالي إنتاج مستشعر بأداء انجراف طويل الأجل. يتم استخدام طرق تصنيع أشباه الموصلات الشائعة لإنشاء جسور مقياس سلالة polysilicon بأداء ممتاز بسعر معقول للغاية. إن بنية CVD لها أداء ممتاز في التكلفة وهو المستشعر الأكثر شعبية في تطبيقات OEM.

3. نوع فيلم الثرثرة

يمكن أن يخلق ترسب الأفلام المتدحرج (أو "فيلم") مستشعرًا بأقصى قدر من الخطية المدمجة والتبطير والتكرار. يمكن أن تصل الدقة إلى 0.08 ٪ من النطاق الكامل ، في حين أن الانجراف طويل الأجل منخفض إلى 0.06 ٪ من النطاق الكامل كل عام. الأداء الاستثنائي لأدوات الأفلام الرفيعة التي تتناثر فيها الأدوات الرئيسية هي كنز في صناعة استشعار الضغط.

4.MMS نوع

تستخدم هذه المستشعرات الحجاب الحاجز السيليكون (MMS) الدقيق للكشف عن تغييرات الضغط. يتم عزل الحجاب الحاجز السيليكون عن الوسط بواسطة 316ss المليء بالزيت ، ويتفاعل في سلسلة مع ضغط سائل العملية. يعتمد مستشعر MMS تقنية تصنيع أشباه الموصلات المشتركة ، والتي يمكن أن تحقق مقاومة عالية الجهد ، وخطية جيدة ، وأداء صدمة حرارية ممتازة واستقرار في حزمة مستشعر مضغوطة.