يستخدم مستشعر ضغط أشباه الموصلات الشائع الاستخدام رقاقة السيليكون من النوع N كركيزة. أولاً، يتم تحويل رقاقة السيليكون إلى جزء مرن يتحمل الضغط بهندسة معينة. في الجزء المتحمل للإجهاد من رقاقة السيليكون، يتم تصنيع أربع مقاومات انتشار من النوع P على طول اتجاهات بلورية مختلفة، ومن ثم يتم تشكيل جسر ويتستون بأربعة أذرع باستخدام هذه المقاومات الأربعة. تحت تأثير القوة الخارجية، تصبح التغيرات في قيم المقاومة إشارات كهربائية. يعتبر جسر ويتستون ذو تأثير الضغط هو قلب مستشعر الضغط، والذي يُسمى عادةً بجسر مقاومة الضغط (كما هو موضح في الشكل 1). خصائص الجسر التجويف هي كما يلي: ① قيم مقاومة الأذرع الأربعة للجسر متساوية (كل r0)؛ ② تأثير التجويف للأذرع المجاورة للجسر متساوٍ في القيمة ومعاكس في الإشارة؛ ③ معامل درجة حرارة المقاومة للأذرع الأربعة للجسر هو نفسه، ويكون دائمًا عند نفس درجة الحرارة. في الشكل. 1، R0 هي قيمة المقاومة دون الإجهاد في درجة حرارة الغرفة؛ RT هو التغير الناتج عن معامل درجة حرارة المقاومة (α) عندما تتغير درجة الحرارة؛ Υ Rδ هو تغير المقاومة الناجم عن الإجهاد (ε)؛ جهد الخرج للجسر هو u=I0 Δ Rδ=I0RGδ (جسر مصدر تيار ثابت).

حيث I0 هو تيار مصدر تيار ثابت وe هو جهد مصدر جهد ثابت. يتناسب جهد الخرج للجسر التجويف بشكل مباشر مع السلالة (ε) ولا علاقة له بـ RT الناتج عن معامل درجة حرارة المقاومة، مما يقلل بشكل كبير من انجراف درجة حرارة المستشعر. مستشعر ضغط أشباه الموصلات الأكثر استخدامًا على نطاق واسع هو جهاز استشعار للكشف عن ضغط السوائل. هيكلها الرئيسي عبارة عن كبسولة مصنوعة من السيليكون أحادي البلورية (كما هو موضح في الشكل 2). يتم تصنيع الحجاب الحاجز على شكل كوب، ويكون قاع الكأس هو الجزء الذي يتحمل القوة الخارجية، ويتم عمل جسر الضغط في قاع الكأس. القاعدة الحلقية مصنوعة من نفس مادة السيليكون البلورية المفردة، ثم يتم ربط الحجاب الحاجز بالقاعدة. يتميز هذا النوع من أجهزة استشعار الضغط بمزايا الحساسية العالية والحجم الصغير والصلابة، وقد تم استخدامه على نطاق واسع في الطيران والملاحة الفضائية وأدوات التشغيل الآلي والأدوات الطبية.