مولد فراغ رقاقة واحد CTA (B) -B مع اثنين من منفذي القياس

تحليل أداء الشفط لمولد الفراغ

1. معلمات الأداء الرئيسية لمولد الفراغ

① استهلاك الهواء: يشير إلى التدفق QV1 يتدفق من الفوهة.

② معدل تدفق الشفط: يشير إلى معدل تدفق الهواء QV2 المستنشق من منفذ الشفط. عندما يكون منفذ الشفط مفتوحًا في الغلاف الجوي ، يكون معدل تدفق الشفط هو الأكبر ، والذي يسمى أقصى معدل تدفق الشفط QV2MAX.

③ الضغط في منفذ الشفط: مسجلة كـ PV. عندما يتم إغلاق منفذ الشفط بالكامل (على سبيل المثال ، فإن قرص الشفط يمتص الشغل) ، أي عندما يكون تدفق الشفط صفرًا ، يكون الضغط في منفذ الشفط هو الأدنى ، المسجل على أنه PVMIN.

④ وقت استجابة الشفط: يعد وقت استجابة الشفط معلمة مهمة تشير إلى أداء عمل مولد الفراغ ، والذي يشير إلى الوقت من فتح الصمام العكسي إلى الوصول إلى درجة فراغ ضرورية في حلقة النظام.

2. العوامل الرئيسية التي تؤثر على أداء مولد الفراغ

يرتبط أداء مولد الفراغ بالعديد من العوامل ، مثل الحد الأدنى للقطر للفوهة ، وشكل وقطر أنبوب الانكماش وأنبوب الانتشار ، وموضعه المقابل وضغط مصدر الغاز. الشكل 2 هو رسم بياني يوضح العلاقة بين ضغط مدخل الشفط ومعدل تدفق الشفط واستهلاك الهواء وضغط الإمداد لمولد فراغ. إنه يوضح أنه عندما يصل ضغط العرض إلى قيمة معينة ، يكون ضغط مدخل الشفط منخفضًا ، ثم يصل معدل تدفق الشفط إلى الحد الأقصى. عندما يستمر ضغط العرض ، يزداد ضغط مدخل الشفط ، ثم ينخفض ​​معدل تدفق الشفط.

① التحليل المميز لتدفق الشفط الأقصى QV2Max: يتطلب خاصية QV2Max المثالية لمولد الفراغ أن يكون QV2Max في القيمة القصوى في نطاق ضغط العرض الشائع (P01 = 0.4-0.5 ميجا باسكال) ويتغير بسلاسة مع P01.

(2) التحليل المميز للضغط الكهروضوئي في منفذ الشفط: يتطلب خاصية PV المثالية لمولد الفراغ أن يكون PV عند الحد الأدنى لقيمة ضمن نطاق ضغط العرض الشائع (P01 = 0.4-0.5 ميجا باسكال) ويتغير بسلاسة مع PV1.

(3) في ظل الشرط الذي يتم إغلاق ضوضاء مدخل الشفط تمامًا ، يظهر العلاقة بين الضغط الكهروضوئي في مدخل الشفط ومعدل تدفق الشفط في ظل ظروف محددة في الشكل 3. من أجل الحصول على علاقة مطابقة مثالية بين الضغط في مبعاد الشفط ومعدل تدفق الشفط ، يمكن تصميم مولدات فراغ متعددة المراحل في السلسلة.