هيكل مستشعر piezoresive

في هذا المستشعر ، يتم دمج شريط المقاوم على حجاب السيليكون أحادي البلورة عن طريق عملية التكامل لصنع شريحة piezoresistive السيليكون ، ويتم تعبئة محيط هذه الشريحة بشكل ثابت في القشرة ، ويتم قيادة القطب الكهربائي. يختلف مستشعر الضغط piezoresistive ، المعروف أيضًا باسم مستشعر ضغط الحالة الصلبة ، عن مقياس الإجهاد اللاصقة ، والذي يحتاج إلى الشعور بالقوة الخارجية بشكل غير مباشر من خلال عناصر حساسة مرنة ، ولكنه يشعر مباشرة بالضغط المقاس من خلال حجاب الحاجز السيليكون.

أحد جوانب الحجاب الحاجز السيليكون هو تجويف عالي الضغط يتواصل مع الضغط المقاس ، والجانب الآخر هو تجويف منخفض الضغط يتواصل مع الغلاف الجوي. بشكل عام ، تم تصميم الحجاب الحاجز السيليكون كدائرة ذات محيط ثابت ، ونسبة القطر إلى سمكها حوالي 20 ~ 60. يتم نشر أربع شرائط مقاومة لضوضاء محليًا على حجاب الحاجز السيليون الدائري وتوصيله بالجسر الكامل ، واثنان منها في منطقة الإجهاد الانضغاطي والآخران في منطقة الإجهاد الصوتية ، والتي تتوافق مع المركز.

بالإضافة إلى ذلك ، هناك أيضًا حجاب الحاجز السيليكون المربع ومستشعر عمود السيليكون. يتكون مستشعر أسطواني السيليكون أيضًا من شرائح مقاومة عن طريق الانتشار في اتجاه معين من مستوى بلوري أسطوانة السيليكون ، وشريطان مقاومتان للإجهاد الشد وشروطان مقاومتان للضغط على جسر كامل.

مستشعر piezoresistive هو جهاز مصنوع من مقاومة الانتشار على الركيزة من مادة أشباه الموصلات وفقًا للتأثير piezoresive لمواد أشباه الموصلات. يمكن استخدام الركيزة مباشرة كمستشعر قياس ، وترتبط مقاومة الانتشار في الركيزة في شكل جسر.

عندما يتم تشويه الركيزة بالقوة الخارجية ، ستتغير قيم المقاومة وسيقوم الجسر بإنتاج ناتج غير متوازن. الركائز (أو الحجاب الحاجز) المستخدمة كمستشعرات piezoresive هي بشكل أساسي رقائق السيليكون وعروض الجرمانيوم. إن أجهزة استشعار السيليكونية المضادة للسيليكون المصنوعة من رقائق السيليكون كمواد حساسة قد جذبت المزيد والمزيد من الاهتمام ، وخاصة أجهزة الاستشعار المثقلة في الحالة الصلبة لقياس الضغط والسرعة هي الأكثر استخدامًا على نطاق واسع.