يمكن تقسيم مستشعرات ضغط أشباه الموصلات إلى فئتين، تعتمد إحداهما على مبدأ أن خصائص I-υ لوصلة PN لأشباه الموصلات (أو تقاطع شوتكي) تتغير تحت الضغط. أداء هذا العنصر الحساس للضغط غير مستقر للغاية ولم يتم تطويره بشكل كبير. والآخر هو المستشعر الذي يعتمد على تأثير مقاومة الضغط لأشباه الموصلات، وهو النوع الرئيسي من مستشعر ضغط أشباه الموصلات. في الأيام الأولى، كانت مقاييس ضغط أشباه الموصلات متصلة في الغالب بعناصر مرنة لصنع أدوات قياس الضغط والانفعال المختلفة. في الستينيات، مع تطور تكنولوجيا الدوائر المتكاملة لأشباه الموصلات، ظهر مستشعر ضغط أشباه الموصلات مع مقاومة الانتشار كعنصر مقاوم للضغط. يتميز هذا النوع من مستشعرات الضغط ببنية بسيطة وموثوقة، ولا توجد أجزاء متحركة نسبية، ويتم دمج العنصر الحساس للضغط والعنصر المرن للمستشعر، مما يتجنب التأخر الميكانيكي والزحف ويحسن أداء المستشعر.

تأثير المقاومة الضغطية لأشباه الموصلات تتميز أشباه الموصلات بخاصية تتعلق بالقوة الخارجية، وهي أن المقاومة (الممثلة بالرمز ρ) تتغير مع الإجهاد الذي تتحمله، وهو ما يسمى تأثير المقاومة الضغطية. يسمى التغير النسبي للمقاومة تحت تأثير إجهاد الوحدة بمعامل المقاومة التضغطية، والذي يتم التعبير عنه بالرمز π. يتم التعبير عنها رياضياً كـ ρ/ρ = π σ.

حيث يمثل σ الإجهاد. يتم تحديد التغير في قيمة المقاومة (R/R) الناتج عن مقاومة أشباه الموصلات تحت الضغط بشكل أساسي من خلال تغير المقاومة، لذلك يمكن أيضًا كتابة التعبير عن تأثير المقاومة التجويفية كـ R/R=πσ.

تحت تأثير القوة الخارجية، يتم إنشاء إجهاد معين (σ) وإجهاد (ε) في بلورات أشباه الموصلات، ويتم تحديد العلاقة بينهما بواسطة معامل يونغ (Y) للمادة، أي Y=σ/ε.

إذا تم التعبير عن تأثير المقاومة التجويزية من خلال الضغط على أشباه الموصلات، فإنه يكون R/R=Gε.

يُسمى G عامل الحساسية لمستشعر الضغط، والذي يمثل التغير النسبي لقيمة المقاومة تحت ضغط الوحدة.

معامل المقاومة الضغطية أو عامل الحساسية هو المعلمة الفيزيائية الأساسية لتأثير المقاومة الضغطية لأشباه الموصلات. يتم تحديد العلاقة بينهما، تمامًا مثل العلاقة بين الإجهاد والانفعال، بواسطة معامل يونج للمادة، أي g = π y.

بسبب تباين بلورات أشباه الموصلات في المرونة، يتغير معامل يونغ ومعامل المقاومة التجويفية مع اتجاه البلورة. يرتبط حجم تأثير مقاومة الضغط لأشباه الموصلات ارتباطًا وثيقًا بمقاومة أشباه الموصلات. كلما انخفضت المقاومة، قل عامل الحساسية. يتم تحديد التأثير التجويف لمقاومة الانتشار من خلال الاتجاه البلوري وتركيز الشوائب لمقاومة الانتشار. يشير تركيز الشوائب بشكل أساسي إلى تركيز الشوائب السطحية لطبقة الانتشار.