ينطبق على استشعار ضغط السكك الحديدية المشتركة عن الوقود الشائع 06E906051K

1. طريقة لتشكيل مستشعر ضغط ، يضم:

توفير ركيزة أشباه الموصلات ، حيث تتشكل طبقة عازلة للطبقة الأولى ، وطبقة عازلة للطبقة الأولى وطبقة عازلة للطبقة الثانية على ركيزة أشباه الموصلات.

لوحة قطب كهربائية أسفل الطبقة العازلة الأولى للطبقة البينية ، أول قطب متبادل يقع على نفس الطبقة مثل لوحة القطب السفلي والمساعد.

ربط الطبقات ؛

تشكيل طبقة قربان فوق اللوحة القطبية السفلى ؛

تشكيل لوحة قطب كهربائي علوي على الطبقة العازلة للطبقة البينية الأولى ، الطبقة البينية الأولى والطبقة التضحية ؛

بعد تشكيل الطبقة التضحية وقبل تشكيل اللوحة العلوية ، في طبقة الترابط الأولى

تشكيل أخدود اتصال ، وملء أخدود الاتصال باللوحة العلوية للتواصل كهربائيًا بطبقة الترابط الأولى ؛ أو،

بعد تشكيل لوحة القطب العلوي ، يتم تشكيل أخاديد التوصيل في لوحة القطب العلوي وطبقة الترابط الأولى ، والتي

تكوين طبقة موصلة تربط لوحة القطب العلوي وطبقة الترابط الأولى في أخدود الاتصال ؛

بعد توصيل اللوحة العلوية وطبقة الترابط الأولى ، إزالة الطبقة التضحية لتشكيل تجويف.

2. طريقة تكوين مستشعر ضغط وفقًا للمطالبة 1 ، حيث في الطبقة الأولى

تشتمل طريقة تكوين الطبقة التضحية على الطبقة العازلة للطبقة البينية على الخطوات التالية:

إيداع طبقة مواد تضحية على الطبقة العازلة للطبقة البينية الأولى ؛

نمط طبقة المادة الذبيحة لتشكيل طبقة قربان.

3. طريقة تكوين مستشعر الضغط وفقًا للمطالبة 2 ، حيث يتم استخدام التصوير الفوتوغرافي الضوئي ونقش.

طبقة المواد الذبيحة منقوشة من خلال عملية الحفر.

4. طريقة تكوين مستشعر ضغط وفقًا للمطالبة 3 ، حيث الطبقة التضحية

المادة هي الكربون غير المتبلور أو الجرمانيوم.

5. طريقة تكوين مستشعر ضغط وفقًا للمطالبة 4 ، حيث تتضخم الطبقة التضحية

المادة هي الكربون غير المتبلور.

حفر الغازات المستخدمة في عملية حفر طبقة المواد الذبيحة تشمل O2 و CO و N2 و AR ؛

المعلمات في عملية حفر طبقة المواد الذبيحة هي: نطاق تدفق O2 هو 18 SCCM ~ 22 SCCM ، ومعدل تدفق ثاني أكسيد الكربون 10 ٪.

يتراوح معدل التدفق من 90 SCCM إلى 110 SCCM ، ويتراوح معدل تدفق N2 من 90 SCCM إلى 110 SCCM ، ومعدل تدفق AR.

النطاق 90 SCCM ~ 110 SCCM ، نطاق الضغط هو 90 mTOR ~ 110 mTOR ، وقوة التحيز هي

540W ～ 660W。