ينطبق على مستشعر ضغط السكك الحديدية المشتركة لوقود باسات 06E906051K

1. طريقة تكوين حساس الضغط وتشتمل على:

توفير ركيزة شبه موصلة، حيث يتم تشكيل طبقة عازلة بينية أولى، وطبقة عازلة بينية أولى وطبقة عازلة بينية ثانية على ركيزة شبه موصلة.

لوحة قطب كهربائي سفلية في الطبقة العازلة البينية الأولى، وهو أول قطب كهربائي متبادل يقع على نفس الطبقة مثل لوحة القطب السفلي ومتباعدة.

ربط الطبقات؛

تشكيل طبقة قربانية فوق الصفيحة القطبية السفلية؛

تشكيل لوحة القطب العلوي على الطبقة العازلة البينية الأولى، وطبقة التوصيل البيني الأولى والطبقة المضحية؛

بعد تشكيل الطبقة المضحية وقبل تشكيل اللوحة العلوية في طبقة الترابط الأولى

تشكيل أخدود اتصال، وملء أخدود الاتصال باللوحة العلوية للتوصيل كهربائيًا مع طبقة التوصيل البيني الأولى؛ أو،

بعد تشكيل لوحة القطب العلوي، يتم تشكيل أخاديد التوصيل في لوحة القطب العلوي وطبقة التوصيل البيني الأولى، والتي

تشكيل طبقة موصلة تربط لوحة القطب العلوي وطبقة التوصيل البيني الأولى في أخدود التوصيل؛

بعد توصيل اللوحة العلوية وطبقة التوصيل الأولى كهربائياً، تتم إزالة الطبقة المضحية لتكوين تجويف.

2. طريقة تشكيل حساس الضغط حسب المطالبة رقم 1 حيث في الطبقة الأولى

تشتمل طريقة تشكيل الطبقة المضحية على الطبقة العازلة البينية على الخطوات التالية:

إيداع طبقة من المواد المضحية على الطبقة العازلة البينية الأولى؛

زخرف طبقة مادة الأضاحي لتكوين طبقة الأضاحي.

3. طريقة تشكيل حساس الضغط حسب المطالبة رقم 2 حيث تستخدم الطباعة الحجرية الضوئية والنقش.

يتم نقش طبقة المواد الذبيحة عن طريق عملية الحفر.

4. طريقة تشكيل حساس الضغط حسب المطالبة رقم 3 حيث الطبقة المضحية

المادة هي الكربون غير المتبلور أو الجرمانيوم.

5. طريقة تشكيل حساس الضغط حسب المطالبة رقم 4 حيث تكون الطبقة المضحية

المادة عبارة عن كربون غير متبلور.

الغازات المستخدمة في عملية حفر طبقة المواد المضحية تشمل O2، CO، N2 وAr؛

المعلمات في عملية حفر طبقة المواد المضحية هي: نطاق تدفق O2 هو 18 SCCM ~ 22 SCCM، ومعدل تدفق ثاني أكسيد الكربون هو 10%.

يتراوح معدل التدفق من 90 SCCM إلى 110 SCCM، ويتراوح معدل تدفق N2 من 90 SCCM إلى 110 SCCM، ومعدل التدفق Ar.

النطاق هو 90 SCCM ~ 110 SCCM، نطاق الضغط هو 90 mtor ~ 110 mtor، وقوة التحيز هي

540 واط ~ 660 واط.