مستشعر ضغط المحرك 2CP3-68 1946725 لحفارة كارتر

طريقة لتحضير حساس الضغط وتتميز بالخطوات التالية:

S1، يوفر رقاقة ذات سطح خلفي وسطح أمامي؛ تشكيل شريط مقاوم للضغط ومنطقة اتصال مخدرة بشدة على السطح الأمامي للرقاقة؛ تشكيل تجويف عميق للضغط عن طريق حفر السطح الخلفي للرقاقة؛

S2، ربط ورقة الدعم على الجزء الخلفي من الرقاقة؛

S3، تصنيع ثقوب الرصاص والأسلاك المعدنية على الجانب الأمامي من الرقاقة، وربط شرائح مقاومة التجويف لتشكيل جسر ويتستون؛

S4، ترسيب وتشكيل طبقة التخميل على السطح الأمامي للرقاقة، وفتح جزء من طبقة التخميل لتشكيل منطقة وسادة معدنية. 2. طريقة تصنيع مستشعر الضغط وفقًا للمطالبة 1، حيث تشتمل S1 على وجه التحديد على الخطوات التالية: S11: توفير رقاقة ذات سطح خلفي وسطح أمامي، وتحديد سمك الغشاء الحساس للضغط على الرقاقة؛ S12: يتم استخدام زرع الأيونات على السطح الأمامي للرقاقة، ويتم تصنيع الشرائط المقاومة للضغط من خلال عملية انتشار ذات درجة حرارة عالية، ويتم تخدير مناطق الاتصال بشكل كبير؛ S13: ترسيب وتشكيل طبقة واقية على السطح الأمامي للرقاقة؛ S14: حفر وتشكيل تجويف عميق للضغط على الجزء الخلفي من الرقاقة لتشكيل طبقة حساسة للضغط. 3. طريقة تصنيع حساس الضغط حسب المطالبة 1، حيث تكون الرقاقة SOI.

في عام 1962، تافت وآخرون. قامت بتصنيع مستشعر ضغط مقاوم للضغط مع شرائح مقاومة للضغط من السيليكون منتشرة وبنية فيلم سيليكون لأول مرة، وبدأت البحث عن مستشعر ضغط مقاوم للضغط. في أواخر الستينيات وأوائل السبعينيات من القرن العشرين، أدى ظهور ثلاث تقنيات، وهي تقنية النقش السيليكوني متباين الخواص، وتقنية زرع الأيونات وتقنية الربط الأنودي، إلى إحداث تغييرات كبيرة في مستشعر الضغط، والتي لعبت دورًا مهمًا في تحسين أداء مستشعر الضغط . منذ الثمانينيات، مع التطوير الإضافي لتكنولوجيا التصنيع الدقيق، مثل النقش متباين الخواص، والطباعة الحجرية، وتعاطي المنشطات الانتشارية، وزرع الأيونات، والربط والطلاء، تم تقليل حجم مستشعر الضغط بشكل مستمر، وتم تحسين الحساسية، وأصبح الإخراج مرتفعًا الأداء ممتاز. وفي الوقت نفسه، فإن تطوير وتطبيق تكنولوجيا التصنيع الدقيقة الجديدة يجعل سمك الفيلم لمستشعر الضغط يتم التحكم فيه بدقة.