مستشعر ضغط المحرك 2CP3-68 1946725 لكارتر الحفريات

طريقة لإعداد مستشعر ضغط ، يتميز بتكوين الخطوات التالية:

S1 ، يوفر رقاقة مع سطح خلفي وسطح أمامي ؛ تشكيل شريط piezoresistive ومنطقة تلامس مخدر بشدة على السطح الأمامي للرقاقة ؛ تشكيل تجويف عميق للضغط عن طريق حفر السطح الخلفي للرقاقة ؛

S2 ، ترابط ورقة دعم على ظهر الرقاقة ؛

S3 ، ثقوب التصنيع والأسلاك المعدنية على الجانب الأمامي من الرقاقة ، وربط شرائح piezoresistive لتشكيل جسر الحجر ؛

S4 ، إيداع وتشكيل طبقة التخميل على السطح الأمامي للرقاقة ، وجزء فتح من طبقة التخميل لتشكيل منطقة وسادة معدنية. 2. طريقة التصنيع لمستشعر الضغط وفقًا للمطالبة 1 ، حيث تشتمل S1 على وجه التحديد على الخطوات التالية: S11: توفير رقاقة مع سطح خلفي وسطح أمامي ، وتحديد سمك الفيلم الحساس للضغط على الرقاقة ؛ S12: يتم استخدام زراعة الأيونات على السطح الأمامي للرقاقة ، يتم تصنيع شرائح piezoresistive من خلال عملية نشر درجة الحرارة العالية ، وتتم مخدرات التلامس بشكل كبير ؛ S13: إيداع وتشكيل طبقة واقية على السطح الأمامي للرقاقة ؛ S14: حفر وتشكيل تجويف عميق للضغط على ظهر الرقاقة لتشكيل فيلم حساس للضغط. 3. طريقة تصنيع مستشعر الضغط وفقًا للمطالبة 1 ، حيث يكون الرقاقة SOI.

في عام 1962 ، Tufte et al. صنع جهاز استشعار ضغط piezoresistive مع شرائح piezoresive المنتشر وهيكل فيلم السيليكون لأول مرة ، وبدأ البحث عن مستشعر الضغط piezoresistive. في أواخر الستينيات وأوائل السبعينيات ، أدى ظهور ثلاث تقنيات ، أي تقنية حفر تباين السيليكون ، وتكنولوجيا زرع الأيونات ، وتكنولوجيا الترابط الأنودي ، إلى تغييرات كبيرة على مستشعر الضغط ، الذي لعب دورًا مهمًا في تحسين أداء مستشعر الضغط. منذ الثمانينيات ، مع مزيد من التطوير لتكنولوجيا التصميم الدقيق ، مثل الحفر متباين الخواص ، الطباعة الحجرية ، المنشطات الانتشار ، زرع أيون ، الترابط والطلاء ، تم تقليل حجم مستشعر الضغط باستمرار ، وقد تم تحسين الحساسية ، والناتج مرتفع والأداء ممتاز. في الوقت نفسه ، فإن تطوير وتطبيق تكنولوجيا micromachins الجديدة يجعل سمك الفيلم من مستشعر الضغط يتم التحكم فيه بدقة.